瑞士inficon電容式膜片真空計的優(yōu)點(diǎn)與應(yīng)用

更新時間：2016-09-26 點(diǎn)擊次數(shù)：1646

擁有成本更低，預(yù)熱速度快 50%，節(jié)能，低功耗

易于集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標(biāo)配兩個設(shè)定點(diǎn)

輕松一鍵調(diào)零或遠(yuǎn)程信號調(diào)零指令，可調(diào)零點(diǎn)偏移

診斷端口用于快速維修和維護(hù)

兩年保修服務(wù)，加熱概念和真空計保護(hù)延長了使用壽命

的信號穩(wěn)定性和可重復(fù)性，即使是zui苛刻的等離子應(yīng)用，都無需長期執(zhí)行重新校準(zhǔn)

合規(guī)性與標(biāo)準(zhǔn)： CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型應(yīng)用

用于刻蝕、CVD、PVD 和其他半導(dǎo)體制造過程

化學(xué)和腐蝕性高溫過程

需要真空計保護(hù)的一般薄膜和真空過程

產(chǎn)品中心 T 系列 MFC質(zhì)量流量控制器MFC P 系列 MFC PG90質(zhì)量流量控制器 Showerhead金屬零部件
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